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空氣——空分——粗氦、氦氣——純氦、氖氣——分離——純化——純氦氣
3、氫液化法：工業(yè)上采用氫液化法從合成氨尾氣中提氦。該法工藝是低溫吸附清除氮、精餾得到粗氦，加氧催化除氫及氦的純化，制得99.99%的純氦氣。
原料氣——除氮——精餾——除氫——純化——氦氣
4、高純氦制法：將99.99%的純氦進一步用活性炭吸附純化制得99.999%的高純氦氣。

制備方法
1、冷凝法：天然氣提氦在工業(yè)上采用冷凝法，該法工藝包括天然氣的預處理凈化、粗氦制取及氦的精制等工序，制得99.99%的純氦氣。
天然氣——凈化——粗氦——精制——氦氣
2、空分法：一般采用分凝法，從空氣裝置中提取粗氦、氖混合氣,由粗氦、氖混合氣制純氦、氖混合氣,經(jīng)分離及純化，制得99.99%的純氦氣。

氦3是自然界中氦的穩(wěn)定同位素，原子量為3.016，原子核由2個質子和一個中子組成。通常情況下，氦3為無色、無味、無毒、不燃燒的惰性氣體，在0℃及0.101325MPa下密度是0.1345kg/m3。

氦氣，稀有氣體元素的一種，英文名為Helium，元素符號為He，原子序數(shù)2。 [1] 無色無味的惰性氣體，化學性質不活潑，一般狀態(tài)下很難和其它物質發(fā)生反應。

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